沈阳芯源微电子设备股份有限公司(下称“芯源微”)今（28）日发布了重要的公告称，自2020年9月30日至2020年12月28日，累计获得政府救助款项人民币418.55万元，均为与收益相关。

  另外，芯源微在公告中指出，上述政府补助未经审计，具体的会计处理及对公司 2020 年度损益的影响，最终以审计机构年度审计确认后的结果为准。

  据天眼查信息数据显示，芯源微成立于2002年，是由中科院沈阳自动化研究所创建的国家高新技术企业，专门干半导体生产设备的研发、生产、销售与服务，致力于为客户提供半导体装备与工艺整体解决方案。

  该公司自主开发了涂胶机、显影机、喷胶机、去胶机、湿法刻蚀机、单片清洗机、擦片机等产品，已形成完整的技术体系和丰富的产品系列，可按照每个用户的工艺技术要求量身定做。产品适应不一样工艺等级的客户真正的需求，大范围的应用于半导体生产、先进封装、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等领域。可满足300mm前道制程及300mm先进封装厚胶工艺制程。

  关键字：芯源微引用地址：芯源微：9月30日至12月28日，获政府救助418.55万元

  7月12日晚间，上交所受理沈阳芯源微电子设备股份有限公司（简称“芯源微”）科创板上市申请。公司拟募集资金3.78亿元，国信证券为公司保荐人。 新股发行芯源微主要是做半导体专用设备的研发、生产和销售，产品有光刻工序涂胶显影设备（涂胶/显影机、喷胶机）和单片式湿法设备（清洗机、去胶机、湿法刻蚀机），可用于6英寸及以下单晶圆处理（如LED芯片制造环节）及8/12英寸单晶圆处理（如集成电路制造前道晶圆加工及后道先进封装环节）。据悉，公司生产的涂胶显影设备产品成功打破国外厂商垄断并填补国内空白，其中在LED芯片制造及集成电路制造后道先进封装等环节，作为国内厂商主流机型已成功实现进口替代。 财务多个方面数据显示，公司2016年-2018年

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