机器人:公司半导体事务产品首要为真空机械手及集束型设备,包含大气机械手 、真空机械手等系列产品、EFEM及线
同花顺(300033)金融研究中心3月27日讯,有投资者向机器人300024)(300024)发问, 赵董秘,是否能够介绍一下新松公司的在半导体设备方面的技能、产品的具体情况?
公司答复表明,您好,公司半导体事务产品首要为真空机械手及集束型设备,包含大气机械手 、真空机械手等系列产品、EFEM及真空传输渠道,产品广泛使用于刻蚀/成膜等工艺环节中,服务的下业首要为半导体工艺设备厂商。公司大气机械手及EFEM产品有较夯实的商场根底,一起活跃推动真空机械手产品的商场使用。现在,公司已完结多种两轴真空直驱机械手渠道的研制,完成了小批量、多批次的客户端使用;三轴真空直驱机械手处于客户端验证阶段;四轴真空直驱机械手处于研制和内部测验阶段。感谢您的重视。
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